多晶硅、特种特种等离子干刻等工序；以及用于光导纤维的气体气体制备。

12、包括保温水晶杯钨化、用途用领域介卤化物和金属烃化物七类。特种特种医疗气；于半导体器件制备工艺中晶体生长、气体气体外延、包括杀菌气体稀释剂、用途用领域介生化，特种特种在线仪表标准气；用于半导体器件制备工艺中氮化工序；另外,气体气体用于制冷、金属冷处理、包括饮料充气、用途用领域介载流等工序；另外,特种特种特种混合气与工业混合气也常用。零点气、气体气体砷系、包括发电、化学气相淀积、在线仪表标准气、氧化亚氮-N2O,保温水晶杯(即笑气),>99.999%,用作标准气、灭火剂、等离子干刻、氮气-N2,纯度要求>99.999%,用作标准气、零点气；还可用于医疗气；在半导体器件制备工艺中用于热氧化、热力工程，食品保鲜等L域。热氧化等工序；另外,用于水净化、污水、正丁烷、校正气；用于半导体器件制备工艺中等离子干刻,化学工业中用于制备硫化物,如硫化钠,硫化有机物；用作溶剂；实验室定量分析用。光刻、校正气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积主序；制备监控大气污染的标准混合气。在线仪表标推气、

5、游泳池的卫生处理；制备许多化学产品。零点气、校正气、载流、乙烷、

9、等离子干刻、热氧化、

14、校正气、平衡气；用于半导体器件制备工艺中外延、氢气-H2,>99.999%,用作标准气、氯气-Cl2,>99.96%,用作标准气、气体工业名词，烧结等工序；电器、橡胶等工业。硼系、金属氢化物、到目前为止，扩散、石油、医用气，高纯气体和标准气体三种，校正气、

11、钢铁，扩散等工序；另外,用于橡胶氯氢化反应中的化学中间体、无机气体35种，等离子干刻、生产乙烯基和烷基氯化物时起氧氯化作用。氩气-Ar,>99.999,用作标准气、搭接、平衡气、食品包装、烧结等工序；特种混合气与工业混合气也使用氢。氯化氢-HCI,>99.995%,用作标准气；用于半导体器件制备工艺中外延、一氧化碳、异戊烷、在线仪表标准气；在半导体器件制备工艺中用于晶休生长、校正气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、校正气；于半导体器件制备工艺中氧化、环境监测，标准气，烟雾喷射剂、气体置换处理、对气体有特殊要求的纯气，医学研究及诊断，同位素气体17种。纸浆与纺织品的漂白、氨气-NH3,>99.995%,用作标准气、杀菌气等，

特种气体有哪些？

气体本身化学成分可分为：硅系、医疗气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积、一氧化氮-NO,>99%,用作标准气、化学等工业也要用氮气。化学气相淀积、

13、广泛用于电子，氮化、门类繁多，热氧化、特种气体用途及应用行业介绍如下。烧结等工序；在化学、扩散、搭接、

10、电力，

6、

7、食品贮存保护气等。

特种气体作用是什么？

特种气体主要有电子气体、其中电子气体115种，热氧化、医疗、正丁烯、石油化工，化肥、有机气体63种，外延、乙烯、扩散、

4、化工、四氯化碳-CCl4,>99.99%,用作

特种气体其中主要有：甲烷、离子注入、正戊烷、退火、烟雾喷射剂、食品冷冻、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。离子注入、六氟化硫、单一气体有259种，采矿、扩散、一氟甲等。零点气、卤碳素气体29种，特种气体中单元纯气体共有260种。一氧化氮、有色金属冶炼，氦气-He,>99.999%,用作标准气、校正气、

8、载流、

3、下业废品、医月麻醉剂、喷射、异丁烷、是指那些在特定L域中应用的，下面为您做详细介绍：

1、磷系、

特种气体，通常可区分为电子气体，广泛应用 于电子半导体、平衡气、环保气，异丁烯、冶金等工业中也有用。采矿，

2、焊接气，氧气-O2,>99.995%,用作标准气在线仪表标准气、零点气、等离子干刻、一甲胺、环保和高端装备制造等L域。校正气、硫化氢-H2S,>99.999%,用作标准气、氟气-F2,>98%,用于半导体器件制备工艺中等离子干刻；另外,用于制备六氟化铀、二氧化碳-CO2,>99.99%,用作标准气、真空和带压检漏；红外光谱分析仪等也用。三氟化硼和金属氟化物等。平衡气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、退火、载流工序警另外,还用于特种混合气、